平面度誤差的測(cè)量

　　平面度誤差是指被測(cè)實(shí)際表面對(duì)其理想平面的變動(dòng)量。

　　平面度誤差是將被測(cè)實(shí)際表面與理想平面進(jìn)行比較，兩者之間的線(xiàn)值距離即為平面度誤差值;或通過(guò)測(cè)量實(shí)際表面上若干點(diǎn)的相對(duì)高度差，再換算以線(xiàn)值表示的平面度誤差值。

　　平面度誤差測(cè)量的常用方法有如下幾種：

　　1、平晶干涉法：用光學(xué)平晶的工作面體現(xiàn)理想平面，直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測(cè)表面的平面度誤差值。主要用于測(cè)量小平面，如量規(guī)的工作面和千分尺測(cè)頭測(cè)量面的平面度誤差。

　　2、打表測(cè)量法：打表測(cè)量法是將被測(cè)零件和測(cè)微計(jì)放在標(biāo)準(zhǔn)平板上，以標(biāo)準(zhǔn)平板作為測(cè)量基準(zhǔn)面，用測(cè)微計(jì)沿實(shí)際表面逐點(diǎn)或沿幾條直線(xiàn)方向進(jìn)行測(cè)量。打表測(cè)量法按評(píng)定基準(zhǔn)面分為三點(diǎn)法和對(duì)角線(xiàn)法：三點(diǎn)法是用被測(cè)實(shí)際表面上相距最遠(yuǎn)的三點(diǎn)所決定的理想平面作為評(píng)定基準(zhǔn)面，實(shí)測(cè)時(shí)先將被測(cè)實(shí)際表面上相距最遠(yuǎn)的三點(diǎn)調(diào)整到與標(biāo)準(zhǔn)平板等高;對(duì)角線(xiàn)法實(shí)測(cè)時(shí)先將實(shí)際表面上的四個(gè)角點(diǎn)按對(duì)角線(xiàn)調(diào)整到兩兩等高。然后用測(cè)微計(jì)進(jìn)行測(cè)量，測(cè)微計(jì)在整個(gè)實(shí)際表面上測(cè)得的最大變動(dòng)量即為該實(shí)際表面的平面度誤差。

　　3、液平面法：液平面法是用液平面作為測(cè)量基準(zhǔn)面，液平面由 “連通罐”內(nèi)的液面構(gòu)成，然后用傳感器進(jìn)行測(cè)量。此法主要用于測(cè)量大平面的平面度誤差。

　　4、光束平面法：光束平面法是采用準(zhǔn)值望遠(yuǎn)鏡和瞄準(zhǔn)靶鏡進(jìn)行測(cè)量，選擇實(shí)際表面上相距最遠(yuǎn)的三個(gè)點(diǎn)形成的光束平面作為平面度誤差的測(cè)量基準(zhǔn)面。