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高溫爐的注意事項(xiàng)

[2016/5/23]

一、除了做實(shí)驗(yàn)外,不要停留在高溫爐管區(qū)。

二、高溫爐實(shí)驗(yàn)工作完畢時(shí),若無(wú)人繼續(xù)使用,請(qǐng)關(guān)特殊氣體,保留N2流動(dòng), 爐管保持在standby溫度,并查看是否有其它電源該關(guān)而沒(méi)有關(guān),如:cleanhood燈光、煮酸用的小電爐或其它,請(qǐng)隨手關(guān)掉。

三、處理HF時(shí),請(qǐng)戴手套,如不小心碰到HF時(shí),請(qǐng)立刻沖水,用葡萄酸鈣加2%之水,揉擦傷處15'。

四、石英玻璃制品請(qǐng)小心使用,以免破裂,引起嚴(yán)重割傷。

五、避免吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。

六、(KCN)不可與酸類(lèi)混置,因兩者可產(chǎn)生劇毒之KCN氣體。

七、一旦發(fā)現(xiàn)有妨礙安全之事物時(shí),請(qǐng)立即通知有關(guān)人員(技術(shù)員等)。

八、請(qǐng)節(jié)約純水用量。

九、破晶片、濾紙、棉花棒.......等,請(qǐng)勿掉入清洗槽的底部排水孔,以免因排水不良造成地板漬水。

十、長(zhǎng)短推桿之前端,在還沒(méi)使用到時(shí),請(qǐng)朝上以免污染。 

十一、晶片進(jìn)出爐口時(shí),承接boatholder,請(qǐng)勿碰觸爐管口,以免污染爐管。


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